1. 軟件的基本使用
1.1 運(yùn)行軟件
1.2 生成一個(gè)簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)
1.3 繪圖,三維繪圖和表格特性
1.4 重疊交互式繪圖
1.5 指定設(shè)計(jì)的公式
1.6 通過剪切板和文件來導(dǎo)入導(dǎo)出數(shù)據(jù)
2. 常規(guī)-軟件中幾個(gè)術(shù)語的定義
2.1 厚度類型(物理厚度,光學(xué)厚度[FWOT, QWOT],幾何厚度)
2.2 怎么定義軟件中變量的單位
2.3 軟件中怎么插入數(shù)據(jù)
2.4 支持的材料模型
3. 設(shè)計(jì)膜系:設(shè)計(jì)不同膜系的技術(shù)
3.1 斜入射薄膜
3.2 顏色模型(三基色,色度,CIE L*A*B*, CIE L*U*V*,主波長(zhǎng))
3.4 抗反膜
3.5 短波通/長(zhǎng)波通濾波器
3.6 帶通濾波器
3.7 干涉截止濾光片
3.8 窄帶濾光片
3.9 負(fù)濾光片
3.10 誘導(dǎo)傳輸濾波器
3.11 優(yōu)化:
a) 優(yōu)化目標(biāo)
b) 優(yōu)化方法(簡(jiǎn)單優(yōu)化法,優(yōu)化,模擬退火法,共軛梯度法,四分之一牛頓法,插針法,差分進(jìn)化法)
c) 鎖層和層鏈接
d) 基底影響
e) 錐角和帶寬計(jì)算
f) 簡(jiǎn)單公差
4. Runsheet:在薄膜沉積過程中使用光學(xué)監(jiān)控器來計(jì)算目標(biāo)信號(hào)
4.1 簡(jiǎn)單光學(xué)監(jiān)控器的描述
4.2 工具因子
4.3 機(jī)器配置-指定鍍膜設(shè)備的特性
4.4 運(yùn)行表單-在制造過程中顯示目標(biāo)監(jiān)控信號(hào)
4.5 截止濾波器設(shè)計(jì)案例
5. Simulator:沉積過程建模決定運(yùn)行表單是否完整或?qū)φ`差敏感
5.1 在模擬器中不同類型的隨機(jī)誤差
5.2 光學(xué)監(jiān)控算法的控制
5.3 邊緣濾波器例子
6. 光學(xué)常數(shù)
6.1 導(dǎo)出薄金屬薄膜和其他吸收薄膜的光學(xué)常數(shù)
6.2 基底光學(xué)常數(shù)的提取
6.3 采用光譜測(cè)量來計(jì)算基底的光學(xué)常數(shù)
7. 反演工程
7.1 加工過程中兩種主要的誤差類型(系統(tǒng)誤差,隨機(jī)誤差)
7.2 采用反演工程來控制在實(shí)際加工制造過程中膜系設(shè)計(jì)的研究
8. 報(bào)告生成器
8.1 可定制的打印輸出
8.2 控制打印輸出說明:頁(yè)面顯示、表格、繪圖、包含其他文件和數(shù)據(jù)源
9. 光學(xué)薄膜的顏色
9.1 顏色及其特性計(jì)算
9.2 具有顏色效果的薄膜和最優(yōu)的顏色刺激
9.3 Macleod軟件的顏色計(jì)算功能
10. 一些應(yīng)用例子
10.1 太陽能光熱吸收薄膜設(shè)計(jì)分析
10.2 應(yīng)力、散射及均勻性分析
Q&A:學(xué)員有機(jī)會(huì)提自己關(guān)心的課題作為補(bǔ)充話題。
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